在半導(dǎo)體設(shè)備的氣體輸送系統(tǒng)中，如將高純氣體輸送至反應(yīng)腔的管道連接部位，泛塞封 H 型彈簧能保證管道接口處的密封，防止氣體泄漏，確保氣體流量和壓力的精確控制，維持工藝的穩(wěn)定性和一致性。

性能優(yōu)勢
       抗疲勞性能卓越：半導(dǎo)體氣體傳輸管道可能會頻繁地進(jìn)行氣體充放操作，管道內(nèi)壓力會反復(fù)變化。H 型彈簧具有出色的抗疲勞性能，能在長期的壓力循環(huán)下保持穩(wěn)定的彈性，不易出現(xiàn)疲勞斷裂等問題，保證密封系統(tǒng)的長期穩(wěn)定運行。
       化學(xué)穩(wěn)定性良好：能抵御半導(dǎo)體制造中常用的腐蝕性氣體，如氯化氫、氟化氫等的侵蝕，確保彈簧在惡劣的化學(xué)環(huán)境中不被腐蝕，從而維持其彈性和密封性能。
       低溫性能穩(wěn)定：在半導(dǎo)體制造的某些工藝中，氣體傳輸管道可能會處于低溫環(huán)境，如在低溫冷卻或冷凍干燥等工藝中。H 型彈簧在低溫下仍能保持良好的彈性和柔韌性，不會出現(xiàn)脆化或彈性失效的情況，確保在低溫工況下也能實現(xiàn)可靠的密封。